王跃林(1959- )
王跃林，男，1959年，江西省南昌人，1982年在浙江大学获学士学位，1985年在哈尔滨工业大学获硕士学位，1989年在清华大学获博士学位。1985年8月到1998年1月在浙江大学信电系工作，1993年晋升教授，1994年聘为博导。1995和1996年曾应邀分别到香港科技大学和日本东北大学访问研究一年。1998年通过中国科学院“百人计划”到上海冶金研究所任研究员主持微机械研究工作，历任中科院上海微系统与信息技术研究所研究员、博导、室副主任、主任，1999年10月起任上海微系统所所长助理。2003年6月起兼任上海微系统所学术委员会主任。2003年3月任上海市政协委员、长宁区政协副主席。2009年4月起任上海微系统所副所长。2021年1月受聘绍兴文理学院特聘教授，微机电系统浙江省工程研究中心首席科学家。担任Sensors & Materials编委、电子学报编委、中国微米纳米技术学会副理事长、上海市传感技术学会名誉理事长、中国仪器仪表学会传感器学会和仪表工艺学会副理事长、中国仪器仪表行业协会传感器分会副理事长等多个学术职务。
1999年被科技部聘为973项目“集成微光机电系统研究”首席科学家，2004年7月入选首批“新世纪百千万人才工程”国家级人选。2005年度再次被科技部聘为973项目“BNI融合的微纳传感器及其系统基础研究”的首席科学家。
1987年他在国际上较早开展了将硅/硅键合技术应用到压力传感器的研究工作，独立提出了与IC工艺兼容的压力传感器新技术“硅盒技术”，为传感器的制造提供了全新的加工手段，奠定了硅/硅键合技术在微机械的重要地位，国际上这类综述性文章几乎都要引用他的成果，直到1998年还被 Proceedings of The IEEE引用；随后利用硅/硅键合技术进一步研制出了硅一体化微机械谐振器，国际联机检索表明，这一成果属首次报道；还研制了力平衡真空传感器、加速度计及微机械陀螺，其中力平衡真空传感器是全新原理的真空传感器，被邀请发表在1998年8月出版的Proceedings of The IEEE微机械特集上。获国家技术发明二等奖一项、上海市技术发明一等奖二项、二等奖二项、浙江省技术发明一等奖一项和教育部自然科学二等奖一项。培养的博士生2000年获全国百篇优秀博士学位论文奖和2014年度上海优秀博士学位论文奖。发表论文300余篇，获授权发明专利150余项。
https://mpic.usx.edu.cn/info/1014/8034.htm